文章广场5nm蚀刻机已供货台积电,中国开始研发3nm蚀刻机,领先全球 60岁归国创业,他用13年让中国蚀刻机突破5nm,全球领先 2020年2月8日5nm蚀刻机已供货台积电,中国开始研发3nm蚀刻机,领先全球已关闭评论 阅读全文